6430 亞FA程控源表

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：Keithley 皮安表高阻計(jì)

產(chǎn)品時(shí)間：2024-05-09

簡(jiǎn)要描述：6430 亞FA程控源表，集合了吉時(shí)利源表和源測(cè)量單元（SMU）產(chǎn)品的電壓源和電流源及測(cè)量功能，比靜電計(jì)靈敏度更高，噪聲更低，輸入阻抗更高。這種*的性能是通過(guò)6430遠(yuǎn)端前置放大器實(shí)現(xiàn)的，它提供非常靈敏的雙向放大器，用于測(cè)量或產(chǎn) 生被測(cè)試器件的電流。

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詳細(xì)說(shuō)明：

6430 亞FA程控源表，集合了吉時(shí)利源表和源測(cè)量單元（SMU）產(chǎn)品的電壓源和電流源及測(cè)量功能，比靜電計(jì)靈敏度更高，噪聲更低，輸入阻抗更高。這種*的性能是通過(guò)6430遠(yuǎn)端前置放大器實(shí)現(xiàn)的，它提供非常靈敏的雙向放大器，用于測(cè)量或產(chǎn) 生被測(cè)試器件的電流。遠(yuǎn)端前置放大器輸出的高電平信號(hào)通過(guò)一條2米長(zhǎng)的線纜發(fā) 送到控制主機(jī)上。這使得用戶可以直接，或者近距離連接該信號(hào)，減少線纜噪聲的影響。

主要特點(diǎn):

0.4fA p-p (4E-16A)噪聲
遠(yuǎn)端前置放大器可以位于信號(hào)源處以減少線纜噪聲
電壓測(cè)量的輸入阻抗>1016Ω
高速——達(dá)2000讀數(shù)/秒
分辨率達(dá)6位半
快速元件特性分析，帶可編程數(shù)字I/O和接口

6430按照靜電計(jì)無(wú)法達(dá)到的速度測(cè)量電壓、電流與電阻。它可以每秒讀取多 2000源/測(cè)量讀數(shù)，讀入內(nèi)部存儲(chǔ)器中。可以測(cè)量快速小電流，100nA量程可響應(yīng) 短至5ms的信號(hào)，較大量程可響應(yīng)幾百微秒的信號(hào)。

6430的*特點(diǎn)包括其低電流靈敏度和遠(yuǎn)端前置放大器，這通過(guò)避免長(zhǎng)輸入線纜發(fā)揮了靈敏度的作用。遠(yuǎn) 端前置放大器是6430反饋測(cè)量系統(tǒng)的主要部分，雖然通過(guò)長(zhǎng)達(dá)2米，帶載高電平信號(hào)的連接線纜它能離開(kāi)主機(jī)一段距離但是它不能獨(dú)立于測(cè)量主機(jī)工作。

應(yīng)用

6430的功能使其同樣適于在測(cè)試實(shí) 驗(yàn)室的研究工作和復(fù)雜元件的評(píng)估，結(jié) 合其它源測(cè)量?jī)x器或SMU用于在較高電平上進(jìn)行低電流、高電阻或高靈敏度的半導(dǎo)體測(cè)量。6430的低噪聲和漂移性能也非常適合高阻性納米線和其它高阻納米材料的研究。

高速數(shù)據(jù)處理

6430能以超過(guò)2000個(gè)讀數(shù)/秒的速度讀至其內(nèi)存緩沖器。IEEE-488總線輸出能每秒發(fā)送達(dá)75個(gè)源/測(cè)量讀數(shù)至外部計(jì)算機(jī)控制器，包括通過(guò)/失效指示。

6430能提供達(dá)2.2W的4象限源，以及低至亞fA和微伏電平的測(cè)量靈敏度。在高達(dá)20V，它能測(cè)量從 1pA量程（僅0.4fA峰峰值噪聲）至 100mA量程的電流。可提供200mV至 200V的電壓范圍。電流和電壓量程設(shè)置定義了源或阱電壓或電流的大值。

典型應(yīng)用：

半導(dǎo)體測(cè)量

基于FET元件中的柵極漏電或溝道漏電會(huì)在 MOSFET、FET、模擬開(kāi)關(guān)和許多其它電路中產(chǎn)生誤差。通過(guò)允許研究人員測(cè)量極低電平的電流和電壓，6430能幫助他們了解這些元件的設(shè)計(jì) 局限以及研究替代器件的結(jié) 構(gòu)或材料。

測(cè)量FET的柵極漏電和溝道電

SET研究

6430具有低電流測(cè)量能力（<0.4fA峰峰值）使其對(duì)于單電子晶體管（SET）和量子點(diǎn)研究非常有用。使用類似于鎖定的技術(shù)，6430能以1aA靈敏度測(cè)量電流（10–18A=6電子/秒）。

測(cè)量行業(yè)的低噪聲和漂移

下圖的數(shù)據(jù)表明6430在5小時(shí)期間內(nèi)穩(wěn)定性非常突出，而且短期的低噪聲性能好。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升時(shí)間在1pA量程上實(shí)現(xiàn)微弱信號(hào)采集。插圖中的細(xì)節(jié)是濾波信號(hào)的截圖，顯示了6430型在開(kāi)始的100秒期間的低噪聲性能（僅200aA峰峰值）。在溫度變化約1°C的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下提取數(shù)據(jù)，其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引線接防護(hù)罩。